Подарите скидку 10%
Посоветуйте эту книгу и получите 106,01 ₽ с покупки её другом.
0+
текстPDF
Объем 219 страниц
2023 год
Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем. Учебное пособие для вузов
3-е издание, стереотипное
текстPDF
1 060 ₽
О книге
Рассмотрены основные положения общей и физической химии в технологических процессах интегральных микросхем и микро-электромеханических систем. Основное внимание уделено химическим процессам в серийном производстве микро-наноэлементов, материалам и оборудованию, обеспечивающего данные процессы. Приводятся конкретные технологические процессы химической подготовки и обработки технологических слоёв и их особенности в серийном производстве. Учебное пособие предназначено для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлениям подготовки бакалавриата и магистратуры «Электроника и наноэлектроника», «Конструирование и технология электронных средств».
Оставьте отзыв
Войдите, чтобы оценить книгу и оставить отзыв
Книга «Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем. Учебное пособие для вузов» — читать онлайн на сайте. Оставляйте комментарии и отзывы, голосуйте за понравившиеся.
Возрастное ограничение:
0+Дата выхода на Литрес:
09 апреля 2022Дата написания:
2023Объем:
219 стр. ISBN:
978-5-507-46956-7Общий размер:
18 МБОбщее кол-во страниц:
219Правообладатель:
Издательство ЛАНЬ
