Подарите скидку 10%
Посоветуйте эту книгу и получите 12,01 ₽ с покупки её другом.
Объем 18 страниц
2007 год
В практикуме рассматриваются принципы расчета режимов термического окисления, обеспечивающего заданную толщину маскирующей оксидной пленки, и режимов диффузии при формировании легированных слоев с заданными параметрами для кремниевых приборных структур. Излагается методика расчетов в программе Math Cad 2001.