Хорошо, что книгу сняли с продажи.
Жалею, что ее скачал и потратил время на чтение.
Книга пустая и технически безграмотная.
Автор не понимает и не желает вникать в физику работы МЭМС. Еще и написано "суконным" языком. А разница стилей разных разделов позволяет предположить, что автор надергал в книгу куски из статей в периодике, не особо вникая в содержание.
Отзывы на книгу «Микромеханические системы и элементы»