Подарите скидку 10%
Посоветуйте эту книгу и получите 12,51 ₽ с покупки её другом.
текстОбъем 175 страниц
Фотонно-стимулированные технологические процессы микро- и нанотехнологии
125 ₽
О книге
В пособии рассмотрены взаимодействие световых потоков с полупроводниковой структурой, режимы обработки, процессы отжига и рекристаллизации поликремниевых и аморфных слоев, отжига и легирования полупроводниковых структур, формирование контактно-металлизационной системы, планаризация, а также получение диэлектрических пленок.
Учебное пособие может быть использовано при подготовке магистров по направлениям 28.04.01 – Нанотехнологии и микросистемная техника, 11.04.03 – Конструирование и технология электронных средств, 11.04.04 – Электроника и наноэлектроника в курсе «Лучевые процессы нанотехнологии».
Оставьте отзыв
Войдите, чтобы оценить книгу и оставить отзыв
Книга Игоря Житяева, Александра Светличного «Фотонно-стимулированные технологические процессы микро- и нанотехнологии» — читать онлайн на сайте. Оставляйте комментарии и отзывы, голосуйте за понравившиеся.
Возрастное ограничение:
0+Дата выхода на Литрес:
30 января 2019Объем:
175 стр. 93 иллюстрацииISBN:
9785927523955Правообладатель:
Южный Федеральный Университет
