Подарите скидку 10%
Посоветуйте эту книгу и получите 48,41 ₽ с покупки её другом.
0+
текстPDF
Объем 123 страницы
2012 год
Элионная технология в микро- и наноиндустрии. Неразрушающие методы контроля процессов осаждения и травления наноразмерных пленочных гетерокомпозиций
текстPDF
399
484 ₽
О книге
В учебном пособии рассматриваются неразрушающие методы контроля технологических процессов нанесения и травления наноразмерных пленочных гетерокомпозиций при использовании ионно-плазменного воздействия на материалы. Анализируются как традиционные способы контроля процессов ионно-плазменной обработки материалов электронной техники, так и специфические, связанные с применением возникающих факторов при взаимодействии ускоренных ионов с твердым телом. Особое внимание уделено использованию возникающего ионно-индуцированного тока в многослойных наноразмерных гетероструктурах и вторичной ионно-электронной эмиссии при ионном воздействии на материалы.
Жанры и теги
Оставьте отзыв
Войдите, чтобы оценить книгу и оставить отзыв
Книга Геннадия Кузнецова, Сергея Курочки и др. «Элионная технология в микро- и наноиндустрии. Неразрушающие методы контроля процессов осаждения и травления наноразмерных пленочных гетерокомпозиций» — читать онлайн на сайте. Оставляйте комментарии и отзывы, голосуйте за понравившиеся.
Возрастное ограничение:
0+Дата выхода на Литрес:
29 марта 2018Дата написания:
2012Объем:
123 стр. Общий размер:
24 МБОбщее кол-во страниц:
123Правообладатель:
МИСиС
