Читайте только на ЛитРес

Книгу нельзя скачать файлом, но можно читать в нашем приложении или онлайн на сайте.

0+
текст
PDF

Объем 397 страниц

2020 год

0+

Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем. Часть 1

текст
PDF
Читайте только на ЛитРес

Книгу нельзя скачать файлом, но можно читать в нашем приложении или онлайн на сайте.

242 ₽
Подарите скидку 10%
Посоветуйте эту книгу и получите 24,21 ₽ с покупки её другом.

Авторы

О книге

Дано представление об основных маршрутах изготовления и конструкциях изделий микроэлектроники на основе кремния. Рассмотрены основные процессы создания интегральных схем: химическая и плазмохимическая обработка материала; введение примесей в кремний; выращивание окисла кремния и его охлаждение; литография; создание металлических соединений и контактов. Приведены методы моделирования процессов распределения примесей в полупроводниковых структурах.Для студентов и аспирантов, специализирующихся в области микроэлектроники и полупроводниковых приборов, а также специалистов.

Оставьте отзыв

Войдите, чтобы оценить книгу и оставить отзыв

Описание книги

Дано представление об основных маршрутах изготовления и конструкциях изделий микроэлектроники на основе кремния. Рассмотрены основные процессы создания интегральных схем: химическая и плазмохимическая обработка материала; введение примесей в кремний; выращивание окисла кремния и его охлаждение; литография; создание металлических соединений и контактов. Приведены методы моделирования процессов распределения примесей в полупроводниковых структурах.

Для студентов и аспирантов, специализирующихся в области микроэлектроники и полупроводниковых приборов, а также специалистов.

Книга М. А. Королева, Т. Ю. Крупкиной и др. «Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем. Часть 1» — читать онлайн на сайте. Оставляйте комментарии и отзывы, голосуйте за понравившиеся.
Возрастное ограничение:
0+
Дата выхода на Литрес:
22 января 2014
Дата написания:
2020
Объем:
397 стр.
ISBN:
978-5-00101-814-8, 978-5-00101-813-1
Общий размер:
3.5 МБ
Общее кол-во страниц:
397
Правообладатель:
Лаборатория знаний